標題：高端激光干涉測量儀器在我國成功研發

針對光刻機等嚴苛丈量環境中完成多自由度干與丈量的需求，我們提出了根據棱鏡誤差矢量剖析的單體集成多軸干與儀組件設計方法，研制出從2軸到5軸的系列化單體式多軸干與儀組件，打破了國外企業的壟斷和對我國的出口約束。”4日，清華大學長聘教授、精細儀器系學術委員會主任李巖告知記者。

激光干涉測量是完成超精細測控和微納尺度丈量的最有效手法之一。在國家嚴重科技專項“極大規模集成電路制作裝備及成套工藝”（02專項）等項目支持下，由李巖等完成的“高測速多軸高分辨率激光干與丈量技能與儀器”項目，打破一系列關鍵技能瓶頸，形成了丈量新方法、體系及儀器。

李巖介紹，項目完成了從干與儀組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測速、多軸大量程、高分辨率激光干涉測量體系。

截至現在，項目團隊所研制的光刻機用雙頻激光干涉儀體系，使用到我國自研光刻機工件臺樣機研制過程中，累計使用50余臺套，滿足了光刻機雙工件臺樣機的精細丈量需求，減輕了對國外高端干涉儀的依賴，降低了其產品對我國出口約束所形成的研制風險。

李巖說，比方項目開發的亞納米分辨率可溯源外差干與儀，使用到激光多維丈量體系研討與開發的比對檢定研討中，找出了激光多維丈量體系非線性誤差原因，并用專門的電路加以校對，提高了相關單位激光多維丈量體系的功能，所提出的可溯源干與丈量新方法，為摩爾單位選用阿伏伽德羅常數重新界說作出了奉獻。

“項目的成功，打破了外國對我國高端激光干與丈量儀器的約束和壟斷，為我國高端裝備和儀器研制供給功能穩定且不受制于外國的丈量及溯源能力，豐富了激光干涉測量理論與技能，具有非常重要的技能、經濟和社會效益。”李巖說。

來源：新華網

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