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基本信息

• 需求名稱：
  JIMA RT RC-04分辨率測試卡
• 儀器種類：
  其他
• 價格區間：
  1萬以下
• 年限：
  1年內
• 儀器狀態：
  無故障正常運行
• 儀器來源：
  企業
• 需求描述：

  JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設置和測試微焦 X 射線系統的光刻生產的測試模式。它支持 0.1 μm 和 10 μm 之間的分辨率，對應于 0.2 μm 和 20 μm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應用于硅載體
  
  JIMA RT RC-04分辨率測試卡特點：
  
  

  測試卡封裝在一個防護盒中
  
  盒子的外形尺寸（W×D×T）：40×30×5mm
  
  芯片尺寸（W×D×T）：5×5×0.015mm
  
  圖案布局：T型
  
  線/空間尺寸：32種規格圖案,
  
  0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,
  
  0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm，7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,
   

  • 每個測試圖案由 8 條線組成，T 形布局

  • 吸收材料：鎢，厚度>=650nm

  • 保護膜：PET膜25μm（含粘合劑）

  • 硅基：15 μm +/- 1 μm（厚度）

  • 外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）

  • 芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）

  • 精度模式： 公差： +/- 10%

  • 適用范圍工作溫度：10°C至70°C

  
  JIMA RT RC-04分辨率測試卡用途：
  在 X 射線系統的分辨率測試。選擇檢測器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數。現在選擇所需的 X 射線參數。將測試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見。使用機械手進行溶出度測試，使下一個最小的線束變得可見。只要線條清晰，就繼續。以下近似適用：焦點尺寸等于分辨率乘以 2。 
  

  
  

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