微量氧分析儀按照原理一般可分為三類：燃料電池法氧分析儀、氧化鋯法的氧化鋯傳感器和磁氧分析儀。

化學電池法微量氧分析儀指的利用氧化還原電池的原理進行微量氧分析，它的傳感器（檢測器）是化學原電池，主要由一個陰極，一個陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產生的電子由電路引出然后進行補償修正放大，即可測出被測氣體中的氧含量。在使用氧分析儀時有些事項是要注意的，否則會出現分析結果不精確等問題：

1 、氧分析儀 在初次啟用前，應該對連接點、焊點、閥門等進行檢漏，以確保空氣中的氧不會反滲進入管道及儀器內部，造成測量數值偏高。

2、再次使用儀器前，要進行管道系統凈化，將漏入的空氣除干凈，同時確保連接取樣管路時沒有漏入空氣。

3、樣氣中氧含量的變化會受管道材質及表面粗糙度影響，因此一般連接管路選用銅管或拋光過的不銹鋼管，而不用塑料管、橡膠管等。

4、微量元素分析時，要避免各種管件、閥門、表頭等死角對樣氣造成污染，因此必須盡可能的簡化氣路系統，連接件死角要小，以防止溶解氧逸出造成污染，使用水封、油封及臘封等設備，才能較好的確保數據的精確。

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